原理：
白光干涉是一种新兴、无损、高效的高精度检测手段，广泛的应用于表面检测、医学成像、光谱分析等领域。它是一种利用物体反射光和参考光之间的光程差来表征物体表面形貌的一种手段，利用了光的干涉原理。市面上大体上有三种结构的白光干涉仪。分别是：Michelson、Mirau、Linnik。
三种常见的白光干涉仪
相比于传统的 Michelson、Mirau 结构的白光干涉仪，Linnik 白光干涉仪有 着不可替代的优点；前两种结构物镜选择单一，只有几款定型的物镜，往往会受 限于工作距离、物镜倍率和 NA，应用领域有限，很多时候不能满足特定要求；相比于这两种，linnik 对物镜的选择没有要求，只需要一对一样的物镜即可，也就是说在物镜能达到的前提下可以搭建出任意倍率、任意 NA 的 linnik 白光干涉仪。在一些特殊领域，像偏振成像需要用到无应力物镜，就只有 linnik 一种方案；在做一些表面检测的时候需要用到长工作距离物镜时，Michelson、Mirau 所用的物镜结构受限，只能使用 Linnik 结构。
参数
照明波长：400nm-700nm
参考镜反射率：<10%
放大倍率：20x
NA：0.75
CCD：
靶面大小：Type 2/3
分辨率：2448*2050
像素尺寸：3.45 μm × 3.45 μm
帧率：15fps
位宽：12bit
扫描压电：
闭环扫描行程：48um±10%
闭环分辨率：2nm
闭环线性度：0.1 %F.S.
闭环重复定位精度：0.05 %F.S.
闭环空载阶跃时间：10 ms±20%
样品臂压电：
闭环扫描行程：XY:16um, Z:6um
闭环分辨率：XY0.6nm、Z0.2nm
闭环线性度：XY:0.3, Z:1 %F.S.
闭环重复定位精度：0.25 %F.S.
闭环空载阶跃时间：8 ms±20%
Linnik 白光干涉仪
压电扫描图
表面重构图
